特許
J-GLOBAL ID:200903067025185563

光モジュールとその製造方法及びその製造装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-205689
公開番号(公開出願番号):特開平11-052191
出願日: 1997年07月31日
公開日(公表日): 1999年02月26日
要約:
【要約】【課題】基板上に形成した溝に光ファイバを載置し、該溝の延長線上となる基板上に光素子を搭載してなる光モジュールの製造方法において、光素子の位置精度を高くして、結合効率の高い光モジュールを得る。【解決手段】基板の透過波長よりも長い波長の光を透過する材質を用いて、基板上の光素子を搭載する位置に位置合わせマーカーを形成した後、画像装置を用いて、上記基板の裏面側より基板越しに光素子を検知しながら、光素子を位置合わせして搭載する工程から光モジュールを製造する。
請求項(抜粋):
基板上に形成した溝に光ファイバを載置し、該溝の延長線上となる基板上に光素子を搭載した光モジュールにおいて、上記基板上の光素子を搭載する位置に、基板の透過波長より長い波長の光を透過する材質からなる位置合わせマーカーを形成し、かつ上記基板の裏面を鏡面としてなる光モジュール。
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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