半導体複合センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-012299
公開番号（公開出願番号）：特開平8-204209
出願日： 1995年01月30日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】ピエゾゲージ抵抗を用い、高精度化及び高信頼化された半導体複合センサを提供する。【構成】複数の半導体ピエゾゲージ抵抗を直列に接続して使用する半導体複合センサにおいて、等しい抵抗値を有する一方の抵抗の高電位端子と他方の抵抗の基板とを等電位接続すべく抵抗素子を分離し、それぞれの抵抗素子となる半導体領域とその基板電位との電位差を等しくする。

請求項（抜粋）：

少なくとも2つのピエゾ抵抗を接続して使用する半導体複合センサにおいて、前記2つのピエゾ抵抗は同じ形状を有すると共に、各々独自の電位を有する半導体領域に包囲され、且つ前記2つのピエゾ抵抗と前記半導体領域間の電位差を、夫々一定とすることを特徴とする半導体複合センサ。

IPC (3件)：

H01L 29/84 , G01L 9/04 101 , G01L 13/06

引用特許：

出願人引用 (11件)

特開平4-249727
特開平2-304964
特開平3-006054

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審査官引用 (21件)

特開平4-249727
特開平4-249727
特開平2-304964

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