特許
J-GLOBAL ID：200903067055903096

CCD試験装置システム

発明者：
亀山 雅志

亀山 雅志 について

, 
吉田 健嗣

吉田 健嗣 について


出願人/特許権者：
株式会社アドバンテスト

株式会社アドバンテスト について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-044148
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243803
出願日： 1999年02月23日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：
【要約】【課題】 テストヘッドに搭載したDUT5の出力アナログ信号をCCD試験装置本体20のS/H回路27に低ノイズで伝送するCCD試験装置システム。【解決手段】 CCDを搭載したテストヘッドのDUTボードにてCCDの出力端子から転送される蓄積電荷のアナログ信号を直列的に取り出し、CCD試験装置本体のサンプル・ホールド回路へ伝送し、電荷量をデジタル的に計測し試験するCCD試験装置システムであって、テストヘッドに搭載されたCCDの出力端子と接地端子の電位を対として取り出す1対のバッファアンプを備えたDUTボードと、この1対のバッファアンプの出力電位をDUTボードからCCD試験装置本体に伝送する1対のシールド線と、この1対のシールド線の出力を受信するCCD試験装置本体の差動増幅器と、を具備するCCD試験装置システム。
請求項（抜粋）：
被試験デバイスであるCCDを搭載したテストヘッドのDUTボードにてCCDの出力端子から転送される蓄積電荷のアナログ信号を直列的に取り出し、CCD試験装置本体のサンプル・ホールド回路へ伝送し、電荷量をデジタル的に計測し試験するCCD試験装置システムにおいて、テストヘッドに搭載されたCCDの出力端子とCCDの接地端子との電位を対として取り出す1対のバッファアンプを備えたDUTボードと、上記1対のバッファアンプの出力電位をDUTボードからCCD試験装置本体に伝送する1対のシールド線と、上記1対のシールド線の出力を受信するCCD試験装置本体の差動増幅器と、を具備することを特徴とするCCD試験装置システム。
IPC (3件)：
H01L 21/66 ,  G01R 31/26 ,  H01L 27/14
FI (3件)：
H01L 21/66 Z ,  G01R 31/26 E ,  H01L 27/14 Z
Fターム (18件)：
2G003AA09 ,  2G003AA10 ,  2G003AG03 ,  2G003AH00 ,  2G003AH09 ,  4M106AA01 ,  4M106BA14 ,  4M106CA04 ,  4M106DH01 ,  4M106DH17 ,  4M118AA09 ,  4M118AA10 ,  4M118AB10 ,  4M118BA10 ,  4M118DB06 ,  4M118DB07 ,  4M118FA06 ,  4M118FA08
引用特許：
出願人引用 (1件)

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