特許

J-GLOBAL ID：200903067056293313

レチクルチャック

発明者： 木村 篤史
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-161309
公開番号（公開出願番号）：特開2006-339347
出願日： 2005年06月01日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：

【課題】 ゴミかみによる変形を抑え、安定したレチクル保持を実現すること。【解決手段】 レチクルの姿勢を保持する第1の保持部と、該第1の保持部の周囲に配置された第2の保持部と、該第2の保持部の周囲にレチクルのパターン面と直交する方向にバネ性を有するシール用弾性部材を設けたレチクルチャックにおいて、該シール用弾性部材のレチクル裏面に接する上面を固着性の小さい材料からなるものとする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

レチクルの姿勢を保持する第1の保持部と、該第1の保持部の周囲に配置された第2の保持部と、該第2の保持部の周囲にレチクルのパターン面と直交する方向にバネ性を有するシール用弾性部材を設けたレチクルチャックにおいて、該シール用弾性部材のレチクル裏面に接する上面は固着性の小さい材料からなることを特徴とするレチクルチャック。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/14 ,  G03F 7/20

FI (4件)：

H01L21/30 503D ,  G03F1/14 M ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515F

Fターム (5件)：

2H095BA02 ,  2H095BE12 ,  5F046BA03 ,  5F046CC09 ,  5F046CD02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭62-100753号公報
  
• 原版チャック、該原版チャックを備えた露光装置および半導体デバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-152340   出願人：キヤノン株式会社