樹脂組成物、それを用いた二層積層膜、およびバンプ形成方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴木俊一郎 , 牧村浩次 , 高畑ちより , 鈴木亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-182282
公開番号（公開出願番号）：特開2007-079550
出願日： 2006年06月30日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：

【課題】半田ペーストの印刷性、およびパターン形状に優れ、基板からの剥離も容易であるのネガ型感放射線性二層積層膜、およびこれを用いたバンプの製造方法を提供する。【解決手段】(A)特定の構造単位を有する重合体、(B)有機溶媒、および(C)特定のエーテル基含有化合物を含有する、バンプ形成に用いる二層積層膜の下層膜用組成物を製造し、この組成物を用いて二層積層膜を製造し、該積層膜を用いてバンプを形成する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される構造単位を有する重合体、(B)有機溶媒(ただし、下記一般式(2)で表される構造を有する化合物は除く。)、および(C)下記一般式(2)で表される構造を有する化合物を含有する二層積層膜の下層膜用組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/11 , G03F 7/004 , G03F 7/40 , H01L 21/027 , H05K 3/34 , H01L 21/60

FI (9件)：

G03F7/11 503 , G03F7/004 501 , G03F7/40 521 , G03F7/004 512 , H01L21/30 502R , H05K3/34 505B , H05K3/34 502Z , H01L21/92 604E , H01L21/92 603G

Fターム (34件)：

2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AA16 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025CA00 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CB60 , 2H025CC03 , 2H025CC05 , 2H025DA35 , 2H025DA40 , 2H025FA17 , 2H025FA43 , 2H096AA26 , 2H096AA27 , 2H096BA05 , 2H096CA05 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA27 , 5E319AA03 , 5E319AB05 , 5E319BB05 , 5E319CC33 , 5E319CD04 , 5E319CD26 , 5E319GG15

引用特許：

出願人引用 (1件)

電極パッド上にバンプを形成したソルダーレジスト層付実装基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-009375 出願人：富山日本電気株式会社

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