特許

J-GLOBAL ID：200903067097428959

マスク取り付け治具および該マスク取り付け治具を用いたマスク取り付け方法

発明者： 田近 望
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 七條 耕司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-419815
公開番号（公開出願番号）：特開2005-181540
出願日： 2003年12月17日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：

【課題】マスクをマスク保持手段に取り付ける際、マスクの一方の端がマスク保持手段に挟まれて傷ついたり破損したりすることを防ぎ、マスク保持手段に対してマスク全体を均一に押さえ付けられるようにする。【解決手段】パターンが形成されたマスク3をマスク保持手段3の下面に保持し、ワークステージ1に載置されたワークに対し、マスク3を介して紫外線を照射する光照射装置における、マスク3をマスク保持手段3に保持させるために使用するマスク取り付け治具2において、マスク取り付け治具2が、下部に複数の弾性部材22が設置されたフレーム21と、フレーム21の上部に設けられた、平面を保ち、ガラスより硬度が低く、表面に複数の溝を有する保護材24とからなることを特徴とする。 【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

パターンが形成されたマスクをマスク保持手段の下面に保持し、ワークステージに載置されたワークに対し、上記マスクを介して紫外線を照射する光照射装置における、上記マスクを上記マスク保持手段に保持させるために使用するマスク取り付け治具において、 前記マスク取り付け治具が、下部に複数の弾性部材が設置されたフレームと、該フレームの上部に設けられた、平面を保ち、ガラスより硬度が低く、表面に複数の溝を有する保護材とからなることを特徴とするマスク取り付け治具。

IPC (3件)：

G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H05K3/00

FI (3件)：

G03F7/20 501 ,  H05K3/00 H ,  H01L21/30 503D

Fターム (12件)：

2H097GA22 ,  2H097GA27 ,  2H097GA30 ,  2H097GA45 ,  2H097LA09 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046BA01 ,  5F046BA02 ,  5F046CC09 ,  5F046DB05 ,  5F046DC05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• マスクローダを有する露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-354661   出願人：ウシオ電機株式会社