特許
J-GLOBAL ID：200903067101340646

アライナー装置

発明者：
光吉 敏彦

光吉 敏彦 について

, 
濱田 浩三

濱田 浩三 について


出願人/特許権者：
株式会社ジェーイーエル

株式会社ジェーイーエル について


代理人 (1件)： 砂場 哲郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-042901
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243294
出願日： 2002年02月20日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造装置や基板検査装置においてウエハのセンタリング、オリフラ等の高速検出を行えるようにする。【解決手段】 昇降機構15の昇降コラム14に支持された、ウエハ1を載置する定置ステージ12と、定置ステージ12上に載置されたウエハ1をチャックする各把持部24を、同期をとって動作させる把持機構部21と、ウエハ1を把持した状態で把持機構部21を旋回させる旋回機構22とを有するウエハ把持旋回手段と、ウエハ1のノッチ位置を透過して検知する光軸が把持部24の半径方向内側に位置するように光軸を形成する発光部31Aと受光部31bとが配置された位置検知センサとを備えるようにしたことにより、迅速なノッチサーチが可能となる。
請求項（抜粋）：
昇降コラムに支持された、ウエハを載置する定置ステージと、該定置ステージ上に載置されたウエハをチャックする各把持部を、同期をとって動作させる把持機構部と、ウエハを把持した状態で前記把持機構部を旋回させる旋回機構とを有するウエハ把持旋回手段と、前記ウエハのノッチ位置を透過して検知する光軸が前記把持部の半径方向内側に位置するように前記光軸を形成する発光部と受光部とが配置された位置検知センサとを備えたことを特徴とするアライナー装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00
FI (3件)：
G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 G
Fターム (6件)：
5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC08 ,  5F046CD01 ,  5F046DB04 ,  5F046DC12
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • ノッチ合わせ機
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-187725   出願人：株式会社メックス
  • ノッチ合わせ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-223927   出願人：アシストジャパン株式会社

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