特許

J-GLOBAL ID：200903067113782270

微粒子収集装置

発明者： 岩崎 元明 ,  松尾 純一 ,  宇治川 友一
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 東野 博文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-240943
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083694
出願日： 1997年09月05日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】 捕集力の向上を図った微粒子収集装置を提供する。【解決手段】 平板上に付着した微粒子を気体によって浮上させる吹き出しノズルと、この吹き出しノズルから吹き出した気体によって浮上した微粒子を吸引する吸引ノズルと、前記吸引ノズルの後段にカウンター及びフィルタを介して接続された吸引ポンプからなる微粒子収集装置において、前記吸引ノズルとカウンターの間にサイクロンを配設した。

請求項（抜粋）：

平板上に付着した微粒子を気体によって浮上させる吹き出しノズルと、この吹き出しノズルから吹き出した気体によって浮上した微粒子を吸引する吸引ノズルと、前記吸引ノズルの後段にカウンター及びフィルタを介して接続された吸引ポンプからなる微粒子収集装置において、前記吸引ノズルとカウンターの間にサイクロンを配設したことを特徴とする微粒子収集装置。

FI (3件)：

G01N 1/02 D ,  G01N 1/02 B ,  G01N 1/02 P

引用特許：

審査官引用 (2件)

• パーティクルサンプラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-302747   出願人：横河電機株式会社
• ダストサンプラー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-091126   出願人：横河電機株式会社