特許
J-GLOBAL ID：200903067152021219

洗浄装置

発明者：
新井 勝

新井 勝 について


出願人/特許権者：
デンヨー株式会社

デンヨー株式会社 について


代理人 (1件)： 梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096113
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288499
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：
【要約】【課題】 界面活性剤を混ぜた洗浄液を用いても、劣化しない洗浄装置を提供すること。【解決手段】 脱酸素膜を使用しない構成としたため、界面活性剤を混ぜた洗浄液を用いても、洗浄装置1が劣化しない。また、気密な脱気槽4で洗浄液を少なくとも上下に攪拌し、脱気後、大気開閉弁24並びに第1及び第2の還流弁18、19を開き、自然還流により洗浄液を洗浄槽2内に戻す。このように、脱気槽4で上下に攪拌することにより、洗浄液が気層と触れるため効率的に脱気でき、脱気時間を短縮できる。また、自然還流により洗浄液を洗浄槽2に導くことにより、気泡除去後に再び気泡が発生するのを防止できるため、洗浄効果を向上できる。
請求項（抜粋）：
洗浄液に加振する超音波振動子を備えた洗浄槽と、洗浄液を貯留し脱気する気密な脱気槽と、前記洗浄槽内の洗浄液を送液開閉弁を介して前記脱気槽に送液する送液手段と、前記脱気槽内を気泡除去手段を介して減圧する減圧手段と、脱気された洗浄液を前記洗浄槽に還流させる還流手段とを備え、前記脱気槽は、攪拌手段を有し、該攪拌手段は、前記脱気槽に導入された洗浄液を少なくとも上下に往復動して攪拌する攪拌子を有することを特徴とする洗浄装置。
IPC (6件)：
B08B 13/00 ,  B01D 19/00 ,  B01D 19/00 101 ,  B08B 3/12 ,  H01L 21/304 642 ,  H01L 21/304
FI (6件)：
B08B 13/00 ,  B01D 19/00 Z ,  B01D 19/00 101 ,  B08B 3/12 Z ,  H01L 21/304 642 C ,  H01L 21/304 642 E
Fターム (20件)：
3B116BB02 ,  3B116BB21 ,  3B116BB46 ,  3B116BB82 ,  3B116BB83 ,  3B116CD21 ,  3B201AA46 ,  3B201BB02 ,  3B201BB03 ,  3B201BB81 ,  3B201BB82 ,  3B201BB85 ,  3B201BB92 ,  3B201CD11 ,  3B201CD22 ,  3B201CD41 ,  4D011AA16 ,  4D011AB06 ,  4D011AC04 ,  4D011AD03
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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