特許
J-GLOBAL ID：200903067194241286

圧電マイクロポンプ

発明者：
久保田 哲平

久保田 哲平 について

, 
田中 克彦

田中 克彦 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 小柴 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-192948
公開番号（公開出願番号）：特開2005-030213
出願日： 2003年07月07日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】低電圧駆動が可能であり、流量の安定化を図り得る、圧電マイクロポンプを提供する。【解決手段】Si基板22の第1の主面23側に、下部電極層28と圧電体厚膜29と上部電極層30とを積層する。Si基板22には、第1の主面23側にダイヤフラム部31を形成しかつ第2の主面32側に開口33を形成する状態でポンプ室34ならびに放出側流路35および供給側流路36を設ける。開口33は、封止層40によって封止する。放出側流路35および供給側流路36を、それぞれ、放出側テーパ弁37および供給側テーパ弁38によって構成し、放出側テーパ弁37に、昇圧部となる絞り部39を設ける。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板を備え、 前記基板の第1の主面側に、下部電極層と圧電体厚膜と上部電極層とが、この順序で積層され、 前記基板には、前記第1の主面側にダイヤフラム部を形成しかつ前記第1の主面に対向する第2の主面側に開口を形成する状態でポンプ室が設けられるとともに、前記ポンプ室に連通する放出側流路および供給側流路が設けられ、 前記開口は、封止層によって封止され、 前記放出側流路および前記供給側流路の各々の少なくとも一部は、それぞれ、放出側テーパ弁および供給側テーパ弁によって与えられ、 前記放出側テーパ弁には、昇圧部となる絞り部が設けられている、 圧電マイクロポンプ。
IPC (7件)：
F04B45/047 ,  B81B3/00 ,  F04B9/00 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22
FI (10件)：
F04B45/04 103C ,  B81B3/00 ,  F04B9/00 B ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 D ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101F ,  H01L41/22 Z
Fターム (27件)：
3H075AA00 ,  3H075BB04 ,  3H075BB19 ,  3H075BB30 ,  3H075CC03 ,  3H075CC05 ,  3H075CC24 ,  3H075CC34 ,  3H075DA02 ,  3H075DA06 ,  3H075DB02 ,  3H075EE00 ,  3H077AA00 ,  3H077BB00 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077CC16 ,  3H077DD06 ,  3H077EE04 ,  3H077EE11 ,  3H077EE15 ,  3H077EE36 ,  3H077FF03 ,  3H077FF12 ,  3H077FF14 ,  3H077FF22 ,  3H077FF36
引用特許：
審査官引用 (7件)
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