特許

J-GLOBAL ID：200903067203690579

高誘電体膜形成用組成物とその製造方法

発明者： 高梨 昌二 ,  高塚 裕二
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 河備 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-159648
公開番号（公開出願番号）：特開2007-329030
出願日： 2006年06月08日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：

【課題】MOD法によるペロブスカイト型誘電物質からなる高誘電体薄膜の形成において、クラックの発生がなく、膜の収縮が小さく、かつ誘電特性に優れた誘電体薄膜を形成することができる高誘電体膜形成用組成物とその効率的な製造方法を提供する。【解決手段】金属成分としてバリウム、ストロンチウム、マグネシウム及びカルシウムからなる群から選ばれる少なくとも1種のアルカリ土類金属元素と、チタン、スズ、又はジルコニウムから選ばれる少なくとも1種の元素を含有する複合有機酸塩液と、アルコール系溶剤及びそれとエーテル系溶剤又はエステル系溶剤からなる有機溶剤に、エチルヘキサン酸類及び/又はメチルペンタン酸類からなるカルボン酸を添加してなる混合有機液相とを含み、かつ、アルコール系溶剤の含有量は、混合有機液相の全体に対して40〜60容量%であることを特徴とする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ペロブスカイト型誘電物質からなる高誘電体薄膜を形成するための塗布液用組成物であって、 金属成分としてバリウム、ストロンチウム、マグネシウム及びカルシウムからなる群から選ばれる少なくとも1種のアルカリ土類金属元素と、チタン、スズ、又はジルコニウムから選ばれる少なくとも1種の元素を含有する複合有機酸塩液と、アルコール系溶剤及びそれとエーテル系溶剤又はエステル系溶剤からなる有機溶剤に、エチルヘキサン酸類及び/又はメチルペンタン酸類からなるカルボン酸を添加してなる混合有機液相とを含み、かつ、アルコール系溶剤の含有量は、混合有機液相の全体に対して40〜60容量%であることを特徴とする高誘電体膜形成用組成物。

IPC (5件)：

H01B 3/00 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/108 ,  H01G 4/12

FI (5件)：

H01B3/00 Z ,  H01L21/316 B ,  H01L21/316 G ,  H01L27/10 651 ,  H01G4/12 397

Fターム (33件)：

4G047CA07 ,  4G047CB05 ,  4G047CC02 ,  4G047CD02 ,  4G048AA05 ,  4G048AB02 ,  4G048AC02 ,  4G048AD02 ,  4G048AE08 ,  5E001AB06 ,  5E001AE01 ,  5E001AE02 ,  5E001AE03 ,  5F058BA11 ,  5F058BC03 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01 ,  5F058BJ02 ,  5F083AD11 ,  5F083GA27 ,  5F083JA13 ,  5F083JA14 ,  5F083JA38 ,  5F083JA43 ,  5F083JA60 ,  5F083PR23 ,  5F083PR33 ,  5G303AA10 ,  5G303AB05 ,  5G303BA07 ,  5G303BA12 ,  5G303CA09 ,  5G303CA11

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平1-308801号公報(第1頁)
  
• 特開平1-100024号公報(第1頁)
  
• Ba1-xSrxTiO3薄膜形成用組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-144537   出願人：三菱マテリアル株式会社