特許

J-GLOBAL ID：200903067223181859

電子源用探針

発明者： 水野 清義 ,  ラハマン エフエイチエム ファリドール
出願人/特許権者： 水野 清義
代理人 (2件)： 加藤 久 ,  堀田 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-086443
公開番号（公開出願番号）：特開2007-265685
出願日： 2006年03月27日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】印加する電圧が低電圧であっても電子ビームを放出することができ、エネルギーが揃った、指向性と集束性の高い電子ビームを放出することが可能な電子源用探針を提供する。【解決手段】先端部30が先鋭化した形状であり、先端部30の真空側にタングステン原子31が存在し、このタングステン原子31に隣接して探針先端30の内部側に酸素原子32が存在する構造であることを特徴とする電子源用探針であり、この電子源用探針は、単結晶タングステンからなる先端部30に対して、酸素吸着と加熱処理を施し、正電圧を印加することによって形成することができる。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

先端部が先鋭化した形状であり、先端部の真空側にタングステン原子が存在し、このタングステン原子に隣接して探針先端の内部側に酸素原子が存在する構造であることを特徴とする電子源用探針。

IPC (2件)：

H01J 1/304 ,  H01J 9/02

FI (2件)：

H01J1/30 F ,  H01J9/02 B

Fターム (7件)：

5C127AA04 ,  5C127BA10 ,  5C127BB02 ,  5C127EE04 ,  5C127EE05 ,  5C135AA10 ,  5C135AB02