特許
J-GLOBAL ID：200903067223216318
静電アクチュエータおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-379087
公開番号（公開出願番号）：特開2004-266991
出願日： 2003年11月07日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】 可動構造体の揺動(振れ角)を大きくすることができる静電アクチュエータおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 シリコン基板11の上に埋込み酸化膜12を介して薄膜シリコン層13を形成した積層基板10を用い、薄膜シリコン層13により捩じり梁構造の可動構造体Emが構成され、この可動構造体Emにおける可動側櫛歯電極と、可動側櫛歯電極に対向するように配置した固定側櫛歯電極25a,25bとの間に電位差を生じさせて可動構造体Emを揺動させる。積層基板10を貫通する貫通孔15の内部に固定側櫛歯電極25a,25bが形成されている。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
シリコン基板(11)の上に埋込み絶縁膜(12)を介して薄膜シリコン層(13)を形成した積層基板(10)を用い、前記薄膜シリコン層(13)により捩じり梁構造の可動構造体(Em)が構成され、この可動構造体(Em)における可動側櫛歯電極(18a,18b)と、当該可動側櫛歯電極(18a,18b)に対向するように配置した固定側櫛歯電極(25a,25b)との間に電位差を生じさせて前記可動構造体(Em)を揺動させるようにした静電アクチュエータであって、
前記積層基板(10)を貫通する貫通孔(15)の内部に固定側櫛歯電極(25a,25b)を形成したことを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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