特許
J-GLOBAL ID：200903067249125892
プローブ走査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-118015
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304402
出願日： 1996年05月13日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】 z方向の粗動・微動機構およびx,yスキャン機構を一体化し、かつズーム機能を備えた、簡単な構成のプローブ走査装置を提供することにある。【解決手段】 筐体1に、z方向のボイスコイルモータ(2〜6)と、x,y方向のボイスコイルモータ(21〜25)と、ズーム装置(34〜38)とが装着されている。探針10はスピンドル8、第1、第2のばね11、12、中筒13、粘性体17、太管部15および細管部14からなる支持手段により支持されている。前記x,y方向のボイスコイルモータによって生成された力は、スピンドル27などを介して、前記太管部15に伝えられる。太管部15はこの力を受けると、前記細管部14を支点として揺動する。x,y方向のズーム装置の板バネ37はスピンドル27の一部を弾性的に支持することによりズーミング機能を実現する。
請求項（抜粋）：
試料の表面に探針を近接させて、該試料表面の形状あるいは物理量を計測する装置に使用されるプローブ走査装置であって、x,yおよびz方向の3方向に配置されたボイスコイルモータと、該ボイスコイルモータからの力により、x,yおよびz方向の3方向に移動させられる探針支持手段と、該探針支持手段の移動範囲を制限することによりズーム機能を実現するズーミング手段とを具備したことを特徴とするプローブ走査装置。
引用特許：
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