酸化亜鉛膜の加工方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：森下武一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-142750
公開番号（公開出願番号）：特開平11-335874
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】【課題】加工精度や加工速度が高く、腐食性、毒性の問題を生じることのない酸化亜鉛膜の加工方法を得る。【解決手段】基板上に成膜されたZnO膜をドライエッチングで所望の形状に加工する際、プロセスガスとしてアルゴンで希釈されたメタンを含む混合ガスを用いる。

請求項（抜粋）：

基板上に成膜された酸化亜鉛膜のドライエッチング処理にメタンを含むプロセスガスを用いることを特徴とする酸化亜鉛膜の加工方法。

IPC (6件)：

C23F 4/00 , G02B 6/13 , G02F 1/11 501 , H01L 21/3065 , H01L 41/18 , H01L 41/22

FI (6件)：

C23F 4/00 A , G02F 1/11 501 , G02B 6/12 M , H01L 21/302 F , H01L 41/18 101 Z , H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

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