特許
J-GLOBAL ID：200903067260964448
電気機械装置および電気・電子機器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-084302
公開番号（公開出願番号）：特開2008-244244
出願日： 2007年03月28日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：
【課題】支持基板と封止基板とで接合層を介して気密封止された電気機械素子を、長期間にわたって安定して動作させることができるように、電気機械装置の信頼性の向上を図ることを可能とする。【解決手段】電気機械素子11が形成された第2基板(支持基板)200と、電気機械素子11に電気的に接続されていて第2基板200に形成された引き出し電極124と、電気機械素子11を覆うとともに電気機械素子11との間隔dを保って第2基板200に接合層250を介して接合された第3基板(封止基板)300と、引き出し電極124に接続されていて第3基板300内を通るように形成された配線310とを備え、接合層250は、電気機械素子11と第3基板300との間隔dを規定するとともに、第2基板200と第3基板300同士を接合してその間を気密封止することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電気機械素子が形成された支持基板と、
前記電気機械素子に電気的に接続されていて前記支持基板に形成された引き出し電極と、
前記電気機械素子を覆うとともに前記電気機械素子との間隔を保って前記支持基板に接合層を介して接合された封止基板と、
前記引き出し電極に接続されていて前記封止基板内を通るように形成された配線とを備え、
前記接合層は、
前記電気機械素子と前記封止基板との前記間隔を規定するとともに、
前記支持基板と前記封止基板同士を接合してその間を気密封止する
ことを特徴とする電気機械装置。
IPC (4件)：
H01L 23/02
, B81B 3/00
, B81C 3/00
, H01L 23/08
H01L23/02 C
, B81B3/00
, B81C3/00
, H01L23/02 J
, H01L23/08 Z
2F105BB04
, 2F105CC04
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
