特許
J-GLOBAL ID：200903067275129448

クリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート

発明者：
加藤 俊幸

加藤 俊幸 について


出願人/特許権者：
アキレス株式会社

アキレス株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127024
公開番号（公開出願番号）：特開2000-318099
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルーム用間仕切りフィルム又はシートに要求される諸特性を損なうことなく、アウトガスの発生を抑制すること。【解決手段】 塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム又はシートの両面にフッ素系樹脂製フィルムを積層し、さらにその表面に帯電防止層を設けた間仕切り用フィルム又はシートとする。
請求項（抜粋）：
半導体等を製造するクリーンルームの間仕切り用として使用されるフィルム又はシートであって、塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム又はシートの両面に、フッ素系樹脂製フィルムを積層した透明性フィルム又はシートの片面又は両面に帯電防止性層が積層されてなることを特徴とするクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート。
IPC (4件)：
B32B 27/30 ,  B32B 27/18 ,  E04B 2/74 541 ,  E04C 2/20
FI (4件)：
B32B 27/30 D ,  B32B 27/18 D ,  E04B 2/74 541 P ,  E04C 2/20 E
Fターム (45件)：
2E162CD04 ,  2E162CD10 ,  2E162CD11 ,  2E162EA18 ,  2E162FA20 ,  4F100AA37 ,  4F100AH02H ,  4F100AK15A ,  4F100AK15G ,  4F100AK17B ,  4F100AK17C ,  4F100AK19 ,  4F100AK25 ,  4F100AR00D ,  4F100AR00E ,  4F100BA01 ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100BA06 ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100BA10D ,  4F100BA10E ,  4F100CA04A ,  4F100CA22B ,  4F100CA22C ,  4F100CB00 ,  4F100CC00A ,  4F100CC00B ,  4F100CC00C ,  4F100DE01 ,  4F100EH46A ,  4F100GB90 ,  4F100HB31B ,  4F100HB31C ,  4F100JG03A ,  4F100JG03D ,  4F100JG03E ,  4F100JJ07 ,  4F100JK13A ,  4F100JK17 ,  4F100JN01 ,  4F100JN01A ,  4F100YY00A
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM