流量計測装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-115948
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304585
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】高性能であるが汚染物質による機械的損傷を受けやすいセンサエレメントを採用した流量計測装置の長期信頼性を向上する。【解決手段】ルーバー11と、当該ルーバーに対して所定の角度をなすガイド12と、当該ルーバーと当該ガイドとの組み合わせによりろ過された汚染物質を排除する排除口13とを組み合わせた流れ方向変換手段を使って、流量検出部20に清浄な流体が流れるようにする。

請求項（抜粋）：

流量を検出する検出部と、前記検出部に流入する流体の流れを制御する流れ制御手段とを備えた流量計測装置であって、前記流れ制御手段は前記流体の中の汚染物質を除去する慣性フィルタとして機能し、前記検出部の近傍に設けられたことを特徴とする流量計測装置。

IPC (5件)：

G01F 1/68 , F02D 35/00 , G01F 1/00 , G01F 15/12 , G01P 5/12

FI (5件)：

G01F 1/68 , G01F 1/00 G , G01F 15/12 , G01P 5/12 Z , F02D 35/00 366 E

Fターム (8件)：

2F030CB07 , 2F030CC14 , 2F030CF02 , 2F035AA02 , 2F035EA03 , 2F035EA04 , 2F035EA07 , 2F035EA08

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開昭55-109921
特公昭47-002231
特開平1-126515

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審査官引用 (8件)

特開昭55-109921
特公昭47-002231
特開平1-126515

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