特許

J-GLOBAL ID：200903067292218705

導電性ダイヤモンドの製造方法

発明者： 平木 昭夫 ,  森 勇介 ,  出口 正洋 ,  北畠 真 ,  平尾 孝
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-033094
公開番号（公開出願番号）：特開平5-229896
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】 導電性ダイヤモンドを製造する方法を提供する。【構成】 ダイヤモンド中に、少なくとも酸素原子を導入する。【効果】 酸素原子をダイヤモンド中に導入することにより、導入領域のダイヤモンドの電子状態は変化し、禁制帯中に不純物準位を形成する。この不純物準位はキャリアを供給する伝導準位として働くので、導入する酸素原子の濃度等を制御することにより、ダイヤモンドの導電性を制御することが可能となる。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド中に、少なくとも酸素原子を導入することを特徴とする導電性ダイヤモンドの製造方法。

IPC (3件)：

C30B 29/04 ,  C01B 31/06 ,  H01L 21/265