スパッタ用ターゲット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中尾俊輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-122062
公開番号（公開出願番号）：特開平5-311413
出願日： 1992年05月14日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】ターゲットの表面にスパッタを阻害するようなアーキングが生じないようにすること。【構成】絶縁性物質8と導電性物質9の混合物を焼結してなるスパッタ用ターゲット2において、焼結後の絶縁性物質8の粒径を20μm以下とし、ターゲット2の表面にスパッタを阻害するようなアーキングが生じないようにでき、アーキングの発生による異物不良や放電停止といった不都合の生じるおそれをなくすことができるようにしたもの。

請求項（抜粋）：