特許

J-GLOBAL ID：200903067304456461

保持装置、それを用いた露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 松井 紳
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-388129
公開番号（公開出願番号）：特開2005-150527
出願日： 2003年11月18日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

【課題】 レチクルや反射ミラーの面形状のひずみに起因するデフォーカスを軽減し、露光精度を向上させる。【解決手段】 レチクルや反射ミラー等の物体を3点で把持し、それらの把持箇所以外の少なくとも1箇所を静電吸引力により吸引して、該物体の面形状を補正する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被保持物体の少なくとも1箇所を把持する把持手段と、該物体の他の少なくとも1箇所を静電吸引力により非接触で吸引する静電吸引手段とを備えることを特徴とする保持装置。

IPC (7件)：

H01L21/027 ,  G02B7/00 ,  G02B7/198 ,  G02B17/00 ,  G03F1/16 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68

FI (10件)：

H01L21/30 531A ,  G02B7/00 F ,  G02B17/00 Z ,  G03F1/16 A ,  G03F7/20 503 ,  H01L21/68 N ,  H01L21/68 P ,  H01L21/68 R ,  H01L21/30 517 ,  G02B7/18 B

Fターム (41件)：

2H043AE01 ,  2H043BC00 ,  2H087KA21 ,  2H087NA05 ,  2H087NA09 ,  2H087TA02 ,  2H095BA10 ,  2H095BE11 ,  2H097AA03 ,  2H097CA06 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA24 ,  5F031HA38 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA30 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA14 ,  5F046BA03 ,  5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB20 ,  5F046CC02 ,  5F046CC09 ,  5F046CC10 ,  5F046GA12 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01 ,  5F046GB09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 走査型露光装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-271332   出願人：キヤノン株式会社