特許
J-GLOBAL ID：200903067356343479
非接触型三次元座標検出装置のZ座標の位置検出方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-059285
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196422
出願日： 1991年03月02日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 物体の形状寸法を表す三次元座標を一対の顕微鏡の測距的位置移動により光学的に非接触にて測定する。【構成】 被検体を載置するテーブルの載置面に平行なX軸およびY軸の方向にそれぞれ移動可能に設けたフレームに対して前記載置面に垂直のZ軸の方向に移動可能に支持軸を取付け、前記Z軸に対し、互いに対称に前記X軸または前記Y軸の方向に離隔するとともに互いに等しい角度をなして傾斜した光軸をそれぞれ有する一対の顕微鏡光学系を前記支持軸に取付け、当該一対の顕微鏡光学系に一対のテレビジョンカメラをそれぞれ結合させ、当該一対のテレビジョンカメラの撮像出力画像を2値化して求めた相互の相関が最大となるときの前記フレームおよび前記支持軸の移動量により被検体の前記所定個所の前記Z軸に関する三次元座標を非接触検出する方法。
請求項（抜粋）：
被検体を載置するテーブルの載置面に平行なX軸およびY軸の方向にそれぞれ移動可能に設けたフレームに対して前記載置面に垂直のZ軸の方向に移動可能に支持軸を取付け、前記Z軸に対し、互いに対称に前記X軸または前記Y軸の方向に離隔するとともに互いに等しい角度をなして傾斜した光軸をそれぞれ有する一対の顕微鏡光学系を前記支持軸に取付け、当該一対の顕微鏡光学系に一対のテレビジョンカメラをそれぞれ結合させ、当該一対のテレビジョンカメラの撮像出力画像を被検体の前記所定個所の近傍にそれぞれ局限した上で2値化して求めた相互の相関が最大となるときの前記フレームおよび前記支持軸の移動量により被検体の前記所定個所の前記Z軸に関する三次元座標を非接触検出する方法において、前記支持軸を駆動しZ軸の方向に移動させZ軸座標値を求めるとともに相関値を求め、前記Z軸座標値および前記相関値に2本の最小2乗近似直線を当てはめ、その交点のZ座標を被検体のZ座標とすることにより、被検体のZ軸座標値の検出を高精度に自動的に行わせることを特徴とする非接触型三次元座標検出装置のZ座標の位置検出方法。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G02B 21/36
, G06F 15/62 415
, G06F 15/70 350
