特許
J-GLOBAL ID：200903067417642890
高周波・高速用デバイスの検査治具および検査用プローブ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河村 洌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-204614
公開番号（公開出願番号）：特開2005-049163
出願日： 2003年07月31日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】容量装荷型の電源用プローブや接地用プローブを金属ブロック内に挿入しやすくすると共に、金属ブロックとの電気的接続を確実にすることができる構造の高周波・高速用デバイスなどの検査装置用の検査治具を提供する。【解決手段】金属ブロック1の一面側に可動ピン11の先端部が突出するように、信号用プローブ3、電源用プローブ4および接地用プローブ5など複数のプローブが、金属ブロック1を貫通して設けられている。この金属ブロック1の一面側に被検査デバイス20が押し付けられ、その被検査デバイス20の各電極端子21〜24とそれぞれプローブ3〜5の先端部とを接触させて被検査デバイス20の特性検査がなされる。この複数のプローブ3〜5のうち、少なくとも一部のプローブは、その外周のアース電位層が金属スリーブ9の接触部を介して金属ブロック1に接触するように設けられている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
金属ブロックと、先端部の突出長が可動する可動ピンを有し、前記金属ブロックの一面側に前記可動ピンの先端部が突出するように、該金属ブロックを貫通して設けられる電源用、接地用および信号用の複数のプローブとを具備し、前記金属ブロックの前記一面側に被検査デバイスが押し付けられ、該被検査デバイスの各電極端子と前記プローブの先端部とを接触させて前記被検査デバイスの特性検査をする検査治具であって、前記複数のプローブのうちの少なくとも一部のプローブは、その外周のアース電位層が金属スリーブを介して前記金属ブロックと接触するように設けられてなる高周波・高速用デバイスの検査治具。
IPC (3件)：
G01R1/073
, G01R1/067
, H01L21/66
G01R1/073 D
, G01R1/067 C
, H01L21/66 B
2G011AA02
, 2G011AA16
, 2G011AB01
, 2G011AB04
, 2G011AB06
, 2G011AB08
, 2G011AB09
, 2G011AC14
, 2G011AC32
, 2G011AC33
, 2G011AD01
, 2G011AE03
, 2G011AF06
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106DD04
, 4M106DD15
