特許

J-GLOBAL ID：200903067458054374

表面粗さ形状測定機のデータ処理装置

発明者： 榎本 雅人
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-285439
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118473
出願日： 1997年10月17日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 ピックアップを移動させる駆動系の誤差を適切に除去し、高精度の表面粗さ形状測定を可能にする表面粗さ形状測定機のデータ処理装置を提供する。【解決手段】ピックアップ10が固定され、該ピックアップ10を測定方向に移動させる駆動部12のシャフト18の真直度精度は、表面粗さ形状測定の測定データに誤差成分として影響する。そこで出荷時にオプティカルフラットを測定することによってこのシャフト18の真直度精度を予め補正データとしてSRAMに記録しておき、実測の際に測定データからSRAMに記録した補正データを減算することにより測定データからシャフト18の真直度精度による誤差成分を適切に除去することができる。

請求項（抜粋）：

被測定面の表面粗さ形状を測定する表面粗さ形状測定機のデータ処理装置において、前記表面粗さ形状測定機の検出部の駆動部材の各移動位置において駆動機構固有に発生する前記検出部の変位成分を記録した記録手段と、被測定面の表面粗さ形状測定時に前記駆動部材の各移動位置において検出される前記検出部の変位量を入力する入力手段と、前記記録手段に記録された前記検出部の変位成分に基づいて前記入力手段によって入力した前記駆動部材の各移動位置における前記検出部の変位量から前記駆動機構固有に発生する変位成分を除去する補正手段と、を備えたことを特徴とする表面粗さ形状測定機のデータ処理装置。

IPC (3件)：

G01B 21/30 102 ,  G01B 7/34 102 ,  G01D 3/00

FI (3件)：

G01B 21/30 102 ,  G01B 7/34 102 B ,  G01D 3/00 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-075905
  
• 平面度測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-272054   出願人：株式会社オハラ
• 記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-152806   出願人：キヤノン株式会社