特許
J-GLOBAL ID：200903067502990872
減圧洗浄乾燥装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-281295
公開番号（公開出願番号）：特開2002-086085
出願日： 2000年09月18日
公開日（公表日）： 2002年03月26日
要約：
【要約】【課題】 従来、金属の加工後に付着した油類を除去する減圧洗浄乾燥装置における、減圧容器外部から内部へ貫通し往復動伝達する部位のシール手段としては、往復動用のOリングが用いられていたが、摩耗が激しく運転中に減圧不良で中断したり、Oリングを頻繁に交換する必要があった。これら欠点の排除が課題であった。【解決手段】 減圧容器貫通部の往復動伝達を、回転動力軸伝達としてシール性能を改善し、減圧容器内部に回転動・直動変換手段を形成した。
請求項（抜粋）：
炭化水素系などの可燃性溶剤を洗浄剤として使用し、ワークを減圧下で洗浄剤に浸漬させる浸漬洗浄室と、上記浸漬洗浄後のワークを減圧下で減圧乾燥させる減圧乾燥室とを備えた減圧容器にワークを昇降させる昇降手段を設けた減圧洗浄乾燥装置において、上記減圧容器の外部に設けた動力源の回転軸を、回転動用シール手段を用いて該減圧容器を貫通させて、内部に回転力を伝達し、回転力を直動に変換する手段を該減圧容器内に形成することを特徴とする減圧洗浄乾燥装置。
IPC (4件)：
B08B 3/08
, B08B 3/10
, F26B 5/04
, H01L 21/304 651
B08B 3/08 Z
, B08B 3/10 Z
, F26B 5/04
, H01L 21/304 651 K
3B201AA46
, 3B201AB08
, 3B201AB38
, 3B201BB02
, 3B201CB01
, 3B201CC15
, 3B201CD11
, 3B201CD36
, 3L113AA05
, 3L113AB10
, 3L113AC24
, 3L113AC67
, 3L113BA01
