特許

J-GLOBAL ID：200903067563970750

弾性表面波装置及びその製造方法

発明者： 喜多村 宏之 ,  岡林 秀和 ,  竹内 常雄
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-203567
公開番号（公開出願番号）：特開平7-046074
出願日： 1993年07月26日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】 Yカット水晶基板を用いた弾性表面波装置において、基板上にエピタキシャル成長させたAl電極のストレスマイグレーション耐性を向上させる。【構成】 Yカット水晶基板を弗酸を含む水溶液で洗浄した後、該基板上にAl電極としての(111)エピタキシャル膜をエピタキシャル成長させる。【効果】 装置の寿命を飛躍的に向上でき、さらに特性の経時変化が従来の多結晶膜の電極に比べて小さくできる。

請求項（抜粋）：

Yカット水晶基板にAl電極を有する弾性表面波装置であって、Yカット水晶基板は、圧電性を有する水晶基板であり、Al電極は、Yカット水晶基板上にエピタキシャル成長したアルミニウム膜からなる電極であり、アルミニウム膜は、基板のSiO2の(101)面に平行な関係でエピタキシャル成長した(111)エピタキシャル膜であることを特徴とする弾性表面波装置。

IPC (2件)：

H03H 3/08 ,  H03H 9/145

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 弾性表面波素子の電極材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-359072   出願人：株式会社村田製作所
• 特開平3-040509
  
• 洗浄液および洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-291240   出願人：株式会社日立製作所