特許
J-GLOBAL ID：200903067602212729

ガルバノ装置の製造方法及びガルバノ装置

発明者：
大高 和雄

大高 和雄 について


出願人/特許権者：
ミヨタ株式会社

ミヨタ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-223515
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040353
出願日： 2000年07月25日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：
【要約】【課題】 基板に、可動板と可動板を基板に対し揺動可能に軸支するトーションバーを一体に形成し、前記可動板を揺動するガルバノ装置の共振周波数を調整する。【解決手段】基板に、可動板と可動板を基板に対し揺動可能に軸支するトーションバーを一体に形成し、前記可動板を揺動するガルバノ装置の製造方法において、前記可動板を揺動させながらトーションバーを加工することにより可動板の共振周波数を調整するガルバノ装置の製造方法とする。
請求項（抜粋）：
基板に、可動板と可動板を基板に対し揺動可能に軸支するトーションバーを一体に形成し、前記可動板を揺動するガルバノ装置の製造方法において、前記可動板を揺動させながらトーションバーを加工することにより可動板の共振周波数を調整することを特徴とするガルバノ装置の製造方法。
IPC (4件)：
G02B 26/10 104 ,  B41J 2/44 ,  G01R 5/00 ,  G02B 26/08
FI (4件)：
G02B 26/10 104 Z ,  G01R 5/00 B ,  G02B 26/08 E ,  B41J 3/00 D
Fターム (11件)：
2C362BA17 ,  2C362BA18 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045BA02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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