特許

J-GLOBAL ID：200903067609654468

チャンバ内移動物体の検出方法及び装置

発明者： 長瀬 浩 ,  相原 敏郎 ,  林 雄造
出願人/特許権者： キヤノン株式会社 ,  入江工研株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-316767
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159055
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】 従来のチャンバ内移動物体の検出方法及び装置は、リードスイッチを用いると検出精度に限度があり、レーザー光を用いた場合には高価となり実用的でなかった。【解決手段】 本発明によるチャンバ内移動物体の検出方法及び装置は、移動物体(1)の第1磁石(2)に対し、外部の第2磁石(10)からの逆磁界バイアスを与えて磁束を集束させ、リードスイッチ(4)の感度を向上させた構成である。

請求項（抜粋）：

非磁性体よりなるチャンバ(3)内で移動する移動物体(1)の動きを、前記移動物体(1)に設けた第1磁石(2)からの磁気を前記チャンバ(3)の外部に設けたリードスイッチ(4)で検出することによって、検出するようにしたチャンバ内移動物体の検出方法において、前記第1磁石(2)からの磁界に対して逆磁界バイアスを与えることを特徴とするチャンバ内移動物体の検出方法。

IPC (2件)：

F16K 51/02 ,  G01B 7/00

FI (2件)：

F16K 51/02 B ,  G01B 7/00 J

引用特許：

審査官引用 (2件)

• シリンダ用位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-031919   出願人：シーケーディ株式会社
• ゲートバルブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-249563   出願人：セイコー精機株式会社