合成石英ガラス母材の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：井内龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-210845
公開番号（公開出願番号）：特開平9-052719
出願日： 1995年08月18日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】従来の光学用合成石英ガラス材の製造においては、透明ガラス化後の徐冷により生じる屈折率分布及び製造方法に起因する不純物の分布により光学用合成石英ガラス材に屈折率分布が生じる。【解決手段】気相軸付け法により形成された多孔質合成石英ガラスに、事前仮焼工程として、1.5〜50パスカルの圧力下、1300〜1400°Cで1〜5時間の加熱処理を施して密度を均質化し、次に仮焼工程として、同じ圧力下、1200〜1400°Cの温度で10〜40時間加熱して水分等を除去した後、0.5〜5°C/分の速度で昇温し、さらに透明化工程を行い透明ガラス化することにより合成石英ガラス母材を製造する。

請求項（抜粋）：

気相軸付け法により形成された多孔質合成石英ガラスに、事前仮焼工程として、1.5〜50パスカルの圧力下、1300〜1400°Cで1〜5時間の加熱処理を施して密度を均質化し、次に仮焼工程として、同じ圧力下、1200〜1300°Cの温度で10〜40時間加熱して水分等を除去した後、0.5〜5°C/分の速度で昇温し、さらに透明化工程を行い透明ガラス化することを特徴とする合成石英ガラス母材の製造方法。

IPC (3件)：

C03B 8/04 , C03B 19/14 , C03B 20/00

FI (3件)：

C03B 8/04 , C03B 19/14 , C03B 20/00

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭62-182126
ガラス物品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-179814 出願人：住友電気工業株式会社
光学用合成石英ガラス材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-210844 出願人：住友金属工業株式会社, 住金石英株式会社

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審査官引用 (2件)

特開昭62-182126
ガラス物品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-179814 出願人：住友電気工業株式会社

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