特許
J-GLOBAL ID：200903067659354767
センサ素子の作製装置、センサ素子の作製方法、及びセンサ素子を備えたセンシング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-231143
公開番号（公開出願番号）：特開2009-063402
出願日： 2007年09月06日
公開日（公表日）： 2009年03月26日
要約：
【課題】微小間隔のギャップを介して配列された微小配列体を備えたセンサ素子を作製するに際し、 それらのギャップを10nmよりも狭い間隔に、精度良く、再現性良く作製するセンサ素子の作製装置を提供する。【解決手段】微小間隔のギャップを介して配列された微小配列体を備えたセンサ素子の作製装置であって、 微小配列体における微小間隔のギャップを形成するためのエッチング手段と、 微小配列体の微小接合方向に電界成分を有する光を照射する手段と、 照射された光の反射光による反射率スペクトル形状または透過光による透過率スペクトル形状を検出する光スペクトル検出手段と、 光スペクトル検出手段によって検出される反射率または透過率スペクトル形状とギャップサイズとの、予め設定された相関に基づいて、エッチング手段によるエッチングを停止するエッチング制御手段と、を有する構成とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
微小間隔のギャップを介して配列された微小配列体を備えたセンサ素子を作製するセンサ素子の作製装置であって、
前記微小配列体における前記微小間隔のギャップを形成するためのエッチング手段と、
前記微小配列体の微小接合方向に電界成分を有する光を照射する手段と、
前記照射された光の反射光による反射率スペクトル形状または透過光による透過率スペクトル形状を検出する光スペクトル検出手段と、
前記光スペクトル検出手段によって検出される前記反射率または透過率スペクトル形状とギャップサイズとの、予め設定された相関に基づいて、前記エッチング手段によるエッチングを停止するエッチング制御手段と、
を有することを特徴とするセンサ素子の作製装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (22件)：
2G043AA01
, 2G043BA16
, 2G043CA03
, 2G043DA06
, 2G043EA03
, 2G043HA01
, 2G043JA02
, 2G043KA01
, 2G043KA02
, 2G043KA05
, 2G043KA09
, 2G043LA01
, 2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059DD13
, 2G059EE12
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059JJ01
, 2G059JJ03
, 2G059JJ11
