微量イソプロピルアルコール測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野口繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-073879
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277392
出願日： 2001年03月15日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【課題】微量IPAを含む水溶液のIPA濃度を精度よく測定できるようにする。【解決手段】光束6aの光はダイクロイックミラー10で反射されて200nmより短波長域の光のみがセル2中の試料水に導かれる。その光のうち190nmより短波長側の光が試料水の水により吸収されて、190〜200nmの波長領域の光のみが全反射ミラー14a,14bで反射されて再びセル2中の試料水を透過し、レンズ16で検出器18に集光されて検出される。このとき、試料水中のIPAによる光吸収が起こる。光束6bが反射ミラー12で反射された光によるIPAの吸収の影響をほとんど受けない光源強度を表わす参照光を測定し、それらの差(差吸光度)をもとに試料水中のIPA濃度が定量する。

請求項（抜粋）：

試料水を収容又は流通させるセルを備えた試料室と、紫外線光源を有し紫外線領域の波長を含む光を前記セル中の試料水に照射する照射光学系と、紫外線検出器を有し、前記セルの透過光を前記紫外線検出器で受光する受光光学系と、前記照射光学系と受光光学系の少なくとも一方に設けられ、入射光を波長180〜220nm付近で反射光と透過光に分離する波長特性をもち、反射光と透過光のうち波長200nmを含む光を測定光として選択するように配置され、測定用光路を形成するミラーとを備えた水中の微量イソプロピルアルコール測定装置。

Fターム (11件)：

2G059AA01 , 2G059BB05 , 2G059CC15 , 2G059EE01 , 2G059EE11 , 2G059FF09 , 2G059HH03 , 2G059JJ07 , 2G059JJ13 , 2G059JJ22 , 2G059KK02

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平1-244341
ArFエキシマレーザー用光学素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-281998 出願人：株式会社ニコン
特開昭61-138144

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