特許

J-GLOBAL ID：200903067696187978

半導体清浄室用の空気調和システム

発明者： 劉 南 姫 ,  黄 正 性 ,  金 杞 斗 ,  韓 永 眞
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-193671
公開番号（公開出願番号）：特開平10-103714
出願日： 1997年07月18日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】 空気調和機中の加湿器の下流にケミカルフィルタを取り付ることにより化学的な不純物を化学的に除去するための半導体清浄室用の空気調和システムを提供する。【解決手段】 加湿器を含む空気調和機を用いて清浄化されたフレッシュエア-を、フレッシュエア-ダクトを通して清浄室に供給し、清浄室の床下に位置するフレッシュエア-供給ダンパ-を通して清浄室外部に循環するように構成した半導体清浄室用の空気調和システムにおいて、前記空気調和機と清浄室との間にイオン交換法により化学的な不純物をろ過するケミカルフィルタを設ける。これにより、従来の半導体清浄室用の空気調和システムを変更させず、かつ既存の除塵用のフィルタをそのまま使用しながらも化学的な不純物を有効に除去できる。また、別途の高価な純水蒸気システムなどを使わず有効な温度及び湿度調節が可能になる。

請求項（抜粋）：

加湿器を含む空気調和機を用いて清浄されたフレッシュエア-を、フレッシュエア-ダクトを通して清浄室に供給し、清浄室の下部に位置するフレッシュエア-供給ダンパ-を通して清浄室外に循環するように構成した半導体清浄室用の空気調和システムにおいて、前記空気調和機と清浄室との間に、イオン交換法により化学的な不純物をろ過するケミカルフィルタを設けることを特徴とする半導体清浄室用の空気調和システム。

IPC (5件)：

F24F 3/16 ,  B01D 39/14 ,  F24F 3/14 ,  F24F 7/06 ,  H01L 21/02

FI (5件)：

F24F 3/16 ,  B01D 39/14 B ,  F24F 3/14 ,  F24F 7/06 C ,  H01L 21/02 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-098034
  
• 特開平4-098034
  
• 気体の清浄化方法および気体ろ過用フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-273353   出願人：東芝プラント建設株式会社, 株式会社タクマ, 株式会社ニチビ