複合トーチ型プラズマ発生方法及び装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：斎藤侑 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-023625
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231498
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
要約：

【要約】【課題】熱プラズマの使用効率の向上させるとともに、装置の小型化及びコストダウンを図る。【解決手段】副トーチ2の副陰極10の中心軸と交叉する中心軸Cを備えた主トーチ1の主陽極3によりプラズマ18を発生させ、該主トーチ1の材料送入管19から前記プラズマ18及びプラズマ炎23の中心軸上に沿って処理対象材料20を放出する。

請求項（抜粋）：

プラズマガス供給手段を有する主トーチと副トーチからなる複合トーチ型プラズマ発生装置において;該主トーチは、陰極と陽極の配置を逆にして構成し、陽極軸とプラズマ中心軸及びプラズマ炎中心軸が同軸となって、副トーチの陰極から主トーチの陽極に至るプラズマを形成することを特徴とする複合トーチ型プラズマ発生装置。

IPC (5件)：

H05H 1/34 , B05B 7/22 , C23C 4/12 , H05H 1/42 , H05H 1/44

FI (5件)：

H05H 1/34 , B05B 7/22 , C23C 4/12 , H05H 1/42 , H05H 1/44

Fターム (15件)：

4F033QA01 , 4F033QB02X , 4F033QB02Y , 4F033QB03X , 4F033QB04 , 4F033QB12Y , 4F033QB13Y , 4F033QD02 , 4F033QD11 , 4F033QD18 , 4F033QG07 , 4F033QG32 , 4F033QK23X , 4K031DA04 , 4K031EA06

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公昭55-007000
特開昭61-007600
移行型プラズマ発生方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-238066 出願人：秩父小野田株式会社

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