特許

J-GLOBAL ID：200903067750702700

薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置

発明者： 岸野 哲也
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-028355
公開番号（公開出願番号）：特開2006-246451
出願日： 2006年02月06日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：

【課題】 従来よりも小型で信頼性が高く、しかも特性が良く低価格な薄膜バルク音響波共振子を提供する。 【解決手段】 基板11と、基板11上に配置され、圧電体薄膜14および該圧電体薄膜に上下から電圧を印加するための上部電極13および下部電極12からなる共振部と、基板11および前記共振部間に配置され、両者を音響的にアイソレートするためのアイソレート部とを具備する薄膜バルク音響波共振子において、共振部上に、樹脂材料または発泡材料からなる第1の保護層18および該第1の保護層上の第2の保護層20が形成されている薄膜バルク音響波共振子である。音響インピーダンスが小さい第1の保護層18により良好なアイソレーションを確保し、第2の保護層20により衝撃や水の浸入などから共振部を保護することができるので、信頼性が高く特性の良いものとなる。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に配置され、圧電体薄膜および該圧電体薄膜に上下から電圧を印加するための上部電極および下部電極からなる共振部と、前記基板および前記共振部間に配置され、両者を音響的にアイソレートするためのアイソレート部とを具備する薄膜バルク音響波共振子において、前記共振部上に、樹脂材料または発泡材料からなる第1の保護層および該第1の保護層上の第2の保護層が形成されていることを特徴とする薄膜バルク音響波共振子。

IPC (6件)：

H03H 9/17 ,  H03H 9/56 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/187

FI (9件)：

H03H9/17 F ,  H03H9/56 B ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D

Fターム (11件)：

5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF05 ,  5J108HH03 ,  5J108HH05 ,  5J108KK01 ,  5J108KK07

引用特許：

出願人引用 (1件)

• フリップ・チップ・ボンディング技術を利用して実装される薄膜バルク音響共鳴器を含むマイクロ波パッケージ装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-364897   出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク