特許
J-GLOBAL ID：200903067820710226
レジスト用剥離液
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
南 孝夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-220410
公開番号（公開出願番号）：特開平7-028254
出願日： 1993年07月08日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【構成】 レジストの側壁保護堆積膜の除去用液であって、(a)糖アルコール、イソプロピルアルコール、ジメチルスルホキシドおよび1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノンよりなる群から選ばれる物質少くとも1種と(b)アルコールアミンと(c)水と必要に応じさらに、(d)第4級アンモニウム水酸化物とからなるレジスト用剥離液。【効果】 このレジスト用剥離液は、ドライエッチングの際に形成させたレジストの側壁保護堆積膜に対する剥離性と配線材料に対する非腐食性と作業の簡便性の両方を兼ね備えている。
請求項（抜粋）：
レジストの側壁保護堆積膜の除去用液であって、(a)糖アルコール、イソプロピルアルコール、ジメチルスルホキシドおよび1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノンよりなる群から選ばれる物質少くとも1種と(b)アルコールアミンと(c)水と必要に応じさらに、(d)第4級アンモニウム水酸化物とからなるレジスト用剥離液。
IPC (4件)：
G03F 7/42
, C09D 9/00 PSS
, C23F 1/00 104
, H01L 21/027
