特許

J-GLOBAL ID：200903067833815655

マスクパターンデータ圧縮方法及びプログラム

発明者： 乳井 健志 ,  本間 和仁 ,  田原 勝次 ,  櫻井 光雄 ,  牧野 誠治 ,  鈴木 浩一 ,  伊藤 貴久
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-257472
公開番号（公開出願番号）：特開2006-072133
出願日： 2004年09月03日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

【課題】 本発明は、マスクパターンデータ圧縮方法及びプログラムに関し、繰り返しパターンを有するマスクパターンデータの中に異なるパターンが存在しても、高いデータ圧縮効率でマスクパターンデータを圧縮することを目的とする。【解決手段】 マスクパターンデータのうち、サイズ及び形状が同じパターンであって数の多い方のパターンを基準パターンとして基準パターンに関する基準情報を取得し、基準パターン以外のパターンに関する排他情報を取得し、基準情報及び排他情報に基づいて基準パターンを圧縮するように構成する。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

マスクパターンデータのうち、サイズ及び形状が同じパターンであって数の多い方のパターンを基準パターンとし、基準パターンに関する基準情報を取得する第1のステップと、 基準パターン以外のパターンに関する排他情報を取得する第2のステップと、 該基準情報及び該排他情報に基づいて、該基準パターンを圧縮する圧縮ステップとを含むことを特徴とする、マスクパターンデータ圧縮方法。

IPC (3件)：

G03F 1/08 ,  G06F 17/50 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F1/08 A ,  G06F17/50 658M ,  H01L21/30 502P ,  H01L21/30 541S

Fターム (6件)：

2H095BB02 ,  2H095BB27 ,  5B046AA08 ,  5B046BA06 ,  5F056CA22 ,  5F056FA05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• マスクパターンデータ圧縮方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-149697   出願人：富士通株式会社

審査官引用 (3件)

• 図形データの圧縮方法および図形パタン発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-205594   出願人：日本電信電話株式会社
• 図形データの圧縮方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-276172   出願人：ソニー株式会社
• リソグラフィ用データ補正装置及びその装置での処理をコンピュータにて行なわせるためのプログラムを格納した記録媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-034881   出願人：富士通株式会社