特許
J-GLOBAL ID：200903067850535593

圧電アクチュエータの製造方法、液体移送装置の製造方法、圧電アクチュエータ、及び、液体移送装置

発明者：
菅原 宏人

菅原 宏人 について


出願人/特許権者：
ブラザー工業株式会社

ブラザー工業株式会社 について


代理人 (2件)： 梶 良之 ,  須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-085830
公開番号（公開出願番号）：特開2008-273192
出願日： 2008年03月28日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：
【課題】焼成後のセラミックス材料層の積層体を基材に接合する際に、積層体に生じる応力集中を緩和して、セラミックス材料層に割れや亀裂等の破損が生じるのを抑制することが可能な、圧電アクチュエータの製造方法を提供すること。【解決手段】圧電材料層30、非活性層31、及び、これら2つの層の間に配置された共通電極34を含む、積層体40を焼成してから、焼成後の積層体40の両面にそれぞれ樹脂層41,42を形成する。そして、両面が樹脂層41,42により被覆された状態の積層体40を、流路ユニット4の一表面に複数の圧力室14を覆うように配置してから流路ユニット4に押しつけて、流路ユニット4に接合する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
圧電セラミックス材料からなり、且つ、所定の駆動領域を有する圧電材料層と、前記圧電材料層の前記所定の駆動領域に対応する部分の両面にそれぞれ配置される第1電極及び第2電極と、セラミックス材料からなり、且つ、前記圧電材料層の第1電極が配置される面側に積層されるセラミックス層とを有する圧電アクチュエータの製造方法であって、 前記圧電材料層、前記セラミックス層、及び、これら2つの層の間に配置された第1電極を含む、積層体を焼成する焼成工程と、 焼成後の前記圧電材料層の前記セラミックス層と反対側の面に、第2電極を形成する電極形成工程と、 焼成後の前記積層体の両面に、前記セラミックス層より弾性率の低い弾性層を形成する弾性層形成工程と、 を含むことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
IPC (5件)：
B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/083
FI (8件)：
B41J3/04 103H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 B ,  H01L41/08 S ,  H01L41/08 Q
Fターム (5件)：
2C057AF93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM