特許

J-GLOBAL ID：200903067856128426

ウォータージェットレーザダイシング用粘着シート

発明者： 三木 翼 ,  浅井 文輝 ,  高橋 智一 ,  佐々木 貴俊 ,  新谷 寿朗 ,  山本 晃好
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-232732
公開番号（公開出願番号）：特開2008-060170
出願日： 2006年08月29日
公開日（公表日）： 2008年03月13日
要約：

【課題】ウォータージェットレーザダイシングにおいて、液体流に起因する液体の透過性を維持しながら、ダイシング後のピックアップの際に十分なエキスパンド性を得て、チップまたはIC部品等の剥離時における欠け等の欠陥を生じさせることなく、極めて薄い半導体ウェハまたは材料の加工が可能な接着シートを提供することを目的とする。【解決手段】基材フィルム上に粘着剤層が積層されてなるウォータージェットレーザダイシング用粘着シートであって、 該粘着シートは、穿孔を有し、かつ空隙率が3〜90%であり、破断伸度が100%以上であるウォータージェットレーザダイシング用粘着シート。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基材フィルム上に粘着剤層が積層されてなるウォータージェットレーザダイシング用粘着シートであって、 該粘着シートは、穿孔を有し、かつ空隙率が3〜90%であり、破断伸度が100%以上であることを特徴とするウォータージェットレーザダイシング用粘着シート。

IPC (4件)：

H01L 21/301 ,  C09J 7/02 ,  C09J 121/00 ,  C09J 133/00

FI (5件)：

H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z ,  C09J121/00 ,  C09J133/00 ,  H01L21/78 B

Fターム (8件)：

4J004AA05 ,  4J004AA10 ,  4J004CA04 ,  4J040CA001 ,  4J040DF001 ,  4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040PA23

引用特許：

出願人引用 (2件)

• WO95/32834号
  
• 水透過性接着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-079829   出願人：日東電工株式会社, ニットウヨーロッパエヌ.ブイ.

審査官引用 (1件)

• 水透過性接着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-079829   出願人：日東電工株式会社, ニットウヨーロッパエヌ.ブイ.