特許
J-GLOBAL ID:200903067901000240
サンドブラスト用感光性樹脂組成物及びその積層体
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
鳴井 義夫
, 清水 猛
, 伊藤 穣
, 武井 英夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-074475
公開番号(公開出願番号):特開2008-233617
出願日: 2007年03月22日
公開日(公表日): 2008年10月02日
要約:
【課題】密着性に優れ、リブ頂部欠損を低減し、サンドブラスト用のマスク材として被加工基材に微細なパターンを歩留まりよく加工できる感光性樹脂積層体、及びそれを用いたサンドブラスト表面加工方法を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性高分子化合物:20〜80質量%、特定の(B)ウレタンプレポリマー:10〜70質量%、(C)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜60質量%、(D)光重合開始剤:0.01〜20質量%、(E)イミダゾールシラン:0.01重量%〜10重量%を含有することを特徴とするサンドブラスト用感光性樹脂組成物を用いる。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)アルカリ可溶性高分子化合物:20〜80質量%、(B)ウレタンプレポリマー:10〜70質量%、(C)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜60質量%、(D)光重合開始剤:0.01〜20質量%を含有してなる感光性樹脂組成物であって、(B)ウレタンプレポリマーが、(a)末端に水酸基を有するポリマー又はモノマーと(b)ポリイソシアネートとの付加重合により得られるポリウレタンの末端イソシアネート基に対して(c)活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を分子内に共に有する化合物を反応させて得られるウレタンプレポリマーであり、かつ、更に(E)イミダゾールシラン:0.01重量%〜10重量%を含有することを特徴とするサンドブラスト用感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/027
, G03F 7/075
, G03F 7/004
FI (4件):
G03F7/027 513
, G03F7/075 501
, G03F7/027 502
, G03F7/004 512
Fターム (21件):
2H025AA02
, 2H025AA14
, 2H025AB11
, 2H025AB14
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC14
, 2H025BC43
, 2H025BC44
, 2H025BC45
, 2H025BC67
, 2H025CA03
, 2H025CA05
, 2H025CA28
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CC13
, 2H025EA08
, 2H025FA17
, 2H025FA42
引用特許:
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