特許
J-GLOBAL ID：200903067916384010
感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 馨 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-196268
公開番号（公開出願番号）：特開2003-015287
出願日： 2001年06月28日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：
【要約】【課題】 経時安定性、感度、耐熱性に優れ、残渣量が少ないなどの特性を有し、TFT液晶ディスプレー及びVLSIなどの半導体集積回路素子の製造に適応する新規な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 o-クレゾール、m-クレゾール及びp-クレゾールを特定比率で含有する混合クレゾールとホルムアルデヒドとを必須の単量体成分として得られるノボラック樹脂(A)、並びに、平均エステル化度80%以上の2,3,4-トリヒドロキシベンゾフェノンと1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸のエステル化物(B-1)及び平均エステル化度80%以上の2,3,4,4'-テトラヒドロキシベンゾフェノンと1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸のエステル化物(B-2)とを含む混合o-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルからなる感光剤(B)を含有する感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
o-クレゾール5〜40重量%(混合クレゾール中の比率)、m-クレゾール20〜80重量%(混合クレゾール中の比率)及びp-クレゾール10〜60重量%(混合クレゾール中の比率)からなる混合クレゾールとホルムアルデヒドとを必須の単量体成分として得られるノボラック樹脂(A)、並びに、平均エステル化度80%以上の2,3,4-トリヒドロキシベンゾフェノンと1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸のエステル化物(B-1)及び平均エステル化度80%以上の2,3,4,4'-テトラヒドロキシベンゾフェノンと1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸のエステル化物(B-2)とを含む混合o-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルからなる感光剤(B)を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/023 511
, G03F 7/022 601
, H01L 21/027
G03F 7/023 511
, G03F 7/022 601
, H01L 21/30 502 R
2H025AA01
, 2H025AA04
, 2H025AA10
, 2H025AA11
, 2H025AA18
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB29
, 2H025CC20
, 2H025FA17
