特許
J-GLOBAL ID:200903067924981795

テーブル位置決め装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-156562
公開番号(公開出願番号):特開2002-351547
出願日: 2001年05月25日
公開日(公表日): 2002年12月06日
要約:
【要約】【課題】 軽量・コンパクトなテーブル位置決め装置を提供することを目的とする。【解決手段】 移動テーブル5をベース部2に平行な一平面内で移動させて任意の位置に位置決めするテーブル位置決め装置において、ベース部2上に環状ガイド3を配設し、環状ガイド3の中心を回転中心として回動する回動部材4a,4b,4cに、移動テーブル5を回転自在に連結する。回動部材4a,4b,4cをマグネット14およびコイル15a,15b,15cにより構成されるリニアモータで個別に駆動することにより、移動テーブル5にXY方向への平行移動及びθ回転を行わせる。これにより、各軸の移動テーブルを積層して配置する必要がなく、従来の積層型のテーブル位置決め装置と比較して軽量・コンパクトなテーブル位置決め装置を実現できる。
請求項(抜粋):
テーブルを少なくとも一平面内で平行移動及び回転させて任意の位置に位置決めするテーブル位置決め装置であって、1つの回転中心を共有しこの回転中心を中心に前記一平面内に平行な面内で回動する三個の回動部材と、前記それぞれの回動部材に前記回転中心に向かって直線移動可能に装着された直動部材と、前記それぞれの直動部材と前記テーブルを回転自在に連結する連結部と、前記それぞれの回動部材を前記回転中心を中心に個別に回動させる駆動機構と、前記駆動機構を制御する制御部とを備えたことを特徴とするテーブル位置決め装置。
IPC (4件):
G05D 3/00 ,  B23Q 5/28 ,  G12B 5/00 ,  B23Q 1/30
FI (5件):
G05D 3/00 H ,  B23Q 5/28 B ,  G12B 5/00 T ,  B23Q 1/30 ,  B23Q 1/14 Z
Fターム (14件):
2F078CA08 ,  2F078CB08 ,  2F078CB13 ,  2F078CC20 ,  3C048BB03 ,  3C048DD05 ,  3C048DD11 ,  3C048DD26 ,  5H303AA01 ,  5H303BB03 ,  5H303BB08 ,  5H303BB12 ,  5H303DD04 ,  5H303QQ07
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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