特許

J-GLOBAL ID：200903067943826415

粒状メディアによる研摩方法

発明者： 渡辺 昌知 ,  棚橋 茂 ,  平野 雅雄
出願人/特許権者： 新東ブレーター株式会社
代理人 (1件)： 飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-193849
公開番号（公開出願番号）：特開2002-011649
出願日： 2000年06月28日
公開日（公表日）： 2002年01月15日
要約：

【要約】【課題】 所要面のみを選択的に研摩することができ、結果的に研摩消費エネルギーも削減できる粒状メディアによる研摩方法を提供すること。【解決手段】 少なくとも一面が被研摩面(被研削面)とされ、該被研摩面の中心部の周囲には貫通空隙を備えたワーク(被研摩物)を粒状メディアを用いて研摩(研削)する方法。研摩槽14内に粒状メディア(研摩媒体)82からなる沈降層83と上澄層84とからなる貯液部86を形成する。上澄層84に、被研摩面16aを沈降層83に対向させてワーク16を浸漬した後、ワーク16を回転させて粒状メディア82に、被研摩面16aに向かう浮遊流動を発生させて被研摩面16aの研摩(研削)を行なう.

請求項（抜粋）：

少なくとも一面が被研摩面(被研削面)とされ、該被研摩面の中心部の周囲には貫通空隙を備えたワーク(被研摩物)を粒状メディアを用いて研摩(研削)する方法において、研摩槽内に粒状メディア(研摩媒体)からなる沈降層と上澄層とからなる貯液部を形成し、前記上澄層に、前記被研摩面を前記沈降層に対向させて前記ワークを浸漬した後、前記ワークを回転させて前記粒状メディアに、前記被研摩面に向かう浮遊流動を発生させて前記被研摩面の研摩(研削)を行なうことを特徴とする粒状メディアによる研摩方法。

Fターム (5件)：

3C058AA02 ,  3C058AB01 ,  3C058AB06 ,  3C058AC04 ,  3C058CB03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-109973
  
• 自動車ホイール仕上げ装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-520584   出願人：ラポイント,デーブ
• シリコンウエーハの製造方法、およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-148629   出願人：信越半導体株式会社