特許

J-GLOBAL ID：200903067946075275

薄膜音響共振器、フィルタ及びその製造方法

発明者： 八幡 和宏 ,  酒井 啓之 ,  鶴見 直大 ,  夘野 高史
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (11件)： 前田 弘 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  藤田 篤史 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守 ,  関 啓 ,  杉浦 靖也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-358864
公開番号（公開出願番号）：特開2007-166148
出願日： 2005年12月13日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：

【課題】共振周波数を精度よく且つ均一に調整することが可能な薄膜音響共振器を実現できるようにする。【解決手段】薄膜音響共振器は、圧電膜11と、圧電膜11を挟んで互いに対向するように形成された第1電極12及び第2電極13とを備えている。第1電極12又は第2電極13の圧電膜11と反対側の面には、密度が500kg/m3以上且つ3500kg/m3以下の材料からなる共振周波数調整膜14が形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電膜と、 前記圧電膜を挟んで互いに対向するように形成された第1電極及び第2電極と、 前記第1電極又は前記第2電極の前記圧電膜と反対側の面に形成され、密度が500kg/m3以上且つ3500kg/m3以下の材料からなる共振周波数調整膜とを備えていることを特徴とする薄膜音響共振器。

IPC (7件)：

H03H 9/17 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/58 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (7件)：

H03H9/17 F ,  H03H9/02 M ,  H03H9/58 A ,  H03H3/02 F ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/22 Z

Fターム (8件)：

5J108AA01 ,  5J108AA02 ,  5J108AA07 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108KK05 ,  5J108KK07

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電共振素子の周波数調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-226072   出願人：株式会社村田製作所