特許
J-GLOBAL ID：200903067949092154

逆方向のc軸圧電素子を備えた音響結合変成器

発明者：
ジョン・ディ・ラーソン・サード

ジョン・ディ・ラーソン・サード について

, 
ユリー・オシュムヤンスキー

ユリー・オシュムヤンスキー について


出願人/特許権者：
アジレント・テクノロジーズ・インク

アジレント・テクノロジーズ・インク について


代理人 (1件)： 特許業務法人オカダ・フシミ・ヒラノ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-312852
公開番号（公開出願番号）：特開2005-136992
出願日： 2004年10月27日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】小さく製造コストの低い変成器を提供すること。【解決手段】本発明の音響結合変成器は、第1のSBAR(スタック型バルク音響共鳴器)と第2のSBARを有する。SBARのそれぞれは、下方のFBAR(膜状バルク音響共鳴器)、上方のFBAR、およびFBAR間の音響デカプラを有する。上方のFBARは下方のFBARの上に積み重ねられる。FBARのそれぞれは、向かい合う平面電極および該平面電極間の圧電素子を有する。圧電素子は、c軸によって特徴づけられる。下方のFBARの圧電素子のc軸は反対の方向を向き、上方のFBARの圧電素子のc軸は反対の方向を向く。変成器はさらに、第1のSBARの下方のFBARを第2のSBARの下方のFBARへと接続する第1の電気回路、および第1のSBARの上方のFBARを第2のSBARの上方のFBARへと接続する第2の電気回路を有する。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
音響結合変成器であって、 第1のスタック型バルク音響共鳴器と、第2のスタック型バルク音響共鳴器と、を備え、前記第1および第2のスタック型バルク音響共鳴器のそれぞれは、下方の膜状バルク音響共鳴器、上方の膜状バルク音響共鳴器、および両者間に設けられた音響デカプラを備え、前記上方の膜状バルク音響共鳴器は前記下方の膜状バルク音響共鳴器の上に積み重ねられ、膜状バルク音響共鳴器のそれぞれは、向かい合った平面電極と、該平面電極間にある圧電素子と、を有し、該圧電素子はc軸によって特徴づけられ、 2つの前記下方の膜状バルク音響共鳴器の前記圧電素子のc軸が互いに逆方向であり、2つの前記上方の膜状バルク音響共鳴器の前記圧電素子のc軸が互いに逆方向であり、 前記第1のスタック型バルク音響共鳴器の下方の膜状バルク音響共鳴器を前記第2のスタック型バルク音響共鳴器の下方の膜状バルク音響共鳴器に接続する第1の電気回路と、 前記第1のスタック型バルク音響共鳴器の上方の膜状バルク音響共鳴器を前記第2のスタック型バルク音響共鳴器の上方の膜状バルク音響共鳴器に接続する第2の電気回路と、 を備える音響結合変成器。
IPC (7件)：
H03H9/02 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H03H3/02 ,  H03H9/17
FI (7件)：
H03H9/02 J ,  H03H3/02 C ,  H03H9/17 F ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 D ,  H01L41/22 Z
Fターム (5件)：
5J108AA06 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108JJ01 ,  5J108MM11
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 米国特許第6,262,637号明細書
  • 米国特許第6,215,375号明細書
  • 米国特許第5,587,620号明細書
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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