特許

J-GLOBAL ID：200903042065003511

逆方向のc軸圧電材料を備えた音響結合変成器

発明者： ジョン・ディ・ラーソン・サード ,  ユリー・オシュムヤンスキー
出願人/特許権者： アジレント・テクノロジーズ・インク
代理人 (1件)： 特許業務法人オカダ・フシミ・ヒラノ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-312806
公開番号（公開出願番号）：特開2005-136991
出願日： 2004年10月27日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：

【課題】コモン・モード除去に優れ、より製作が容易な音響結合変成器を提供すること。【解決手段】一実施形態において、音響結合変成器は、第1および第2のスタック型バルク音響共鳴器(SBAR)を有する。SBARのそれぞれは、膜状バルク音響共鳴器(FBAR)の間の音響デカプラを有する積み重ねられたFBARを有する。FBARのそれぞれは、対向する平面電極間に音響デカプラを伴う。FBARのそれぞれは、平面電極間に圧電材料を有する向かい合う平面電極を有する。第1の電気回路は、第1のSBARの一つのFBARを第2のSBARの一つのFBARに接続する。そして、第2の電気回路は、第1のSBARのFBARを第2のSBARのもう一方のFBARに接続する。FBARの一つの圧電材料のc軸は他の3つのFBARの圧電材料のc軸とは逆方向を向く。【選択図】図2A

請求項（抜粋）：

音響結合変成器であって、 第1のスタック型バルク音響共鳴器と、第2のスタック型バルク音響共鳴器と、を備え、前記第1および第2のスタック型バルク音響共鳴器のそれぞれは、積み重ねられた1対の膜状バルク音響共鳴器と、該膜状バルク音響共鳴器間の音響デカプラと、を備え、前記膜状バルク音響共鳴器のそれぞれは、向かい合った平面電極と、該平面電極間の圧電材料の層と、を備え、該圧電材料はc軸を有し、 前記第1のスタック型バルク音響共鳴器の膜状バルク音響共鳴器の一方を前記第2のスタック型バルク音響共鳴器の膜状バルク音響共鳴器の一方に接続する第1の電気回路と、 前記第1のスタック型バルク音響共鳴器の膜状バルク音響共鳴器の他方を前記第2のスタック型バルク音響共鳴器の膜状バルク音響共鳴器の他方に接続する第2の電気回路と、を備え、 前記膜状バルク音響共鳴器のうちの1つの圧電材料のc軸が、他の3つの膜状バルク音響共鳴器の圧電材料のc軸と逆方向である、音響結合変成器。

IPC (6件)：

H03H9/02 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H03H3/02

FI (7件)：

H03H9/02 J ,  H03H3/02 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z

Fターム (5件)：

5J108AA00 ,  5J108BB08 ,  5J108JJ01 ,  5J108JJ04 ,  5J108KK07

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 米国特許第6,262,637号明細書
  
• 米国特許第6,215,375号明細書
  
• 米国特許第5,587,620号明細書
  
• 米国特許第6,107,721号明細書
  

審査官引用 (4件)

• 特開昭52-013794
  
• 特開昭60-126907
  
• 反射性の改善された音響鏡
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-551898   出願人：エプコスアクチエンゲゼルシャフト
• 逆方向のc軸圧電素子を備えた音響結合変成器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-312852   出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Bulk Acoustic Wave Coupled Resonator Filters