特許
J-GLOBAL ID：200903068000874808
有機無機ハイブリッド薄膜センサの高感度化
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-140528
公開番号（公開出願番号）：特開2005-321327
出願日： 2004年05月11日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：
【課題】 ナノサイズの結晶粒子からなり、多孔質構造を有することを特等とする、酸化モリブデン(MoO3 )を主成分とする導電性の有機無機ハイブリッド薄膜を製造する方法、及びその導電性有機無機ハイブリッド薄膜等を提供する。【解決手段】 下記工程を含むことを特徴とする電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法であって、ナノサイズの結晶粒子からなり、多孔質構造を有する酸化モリブデンの高配向薄膜を作製し、そこへ化学反応により導電性ポリマーあるいは有機イオンをインターカレートすることを特徴とする、ナノサイズの結晶粒子からなり、多孔質構造を有する、電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法、該方法により作製される、VOCガスに対して高感度に応答するセンサ部材。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
ナノサイズの結晶粒子からなり、多孔質構造を有する金属酸化物の高配向薄膜に、導電性ポリマーあるいは有機イオンをインターカレートしたことを特徴とする導電性有機無機ハイブリッド薄膜。
IPC (3件)：
G01N27/12
, B82B3/00
, C01G39/02
G01N27/12 C
, B82B3/00
, C01G39/02
2G046AA18
, 2G046AA25
, 2G046BA01
, 2G046BA09
, 2G046EA02
, 2G046EA04
, 2G046FA01
, 2G046FA04
, 2G046FB02
, 2G046FC01
, 2G046FE22
, 2G046FE23
, 4G048AA02
, 4G048AB01
, 4G048AC08
, 4G048AD02
, 4G048AE08
出願人引用 (2件)
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ガスセンサ及びその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-066108
出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
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特表2003-422141号公報
審査官引用 (3件)
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