セラミックグリーンシートの加工方法及び加工装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西澤均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-095774
公開番号（公開出願番号）：特開2000-280226
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】【課題】キャリアフィルムにより一面が支持されたセラミックグリーンシートに、キャリアフィルムを貫通することなく、貫通孔を効率よく形成することを可能にする。【解決手段】レーザ光源1から放射されたレーザビーム2を、回折格子3を通過させることにより、セラミックグリーンシート10は貫通するが、キャリアフィルム20は貫通しないようなエネルギーを有する複数個のレーザビーム2aに分光し分光されたレーザビーム2aを、セラミックグリーンシート10のキャリアフィルム20により支持されていない方の面に照射して、キャリアフィルム20を貫通しないように、セラミックグリーンシート10に貫通孔を形成する。

請求項（抜粋）：

キャリアフィルムにより一面が支持されたセラミックグリーンシートに複数個の貫通孔を形成するためのセラミックグリーンシートの加工方法であって、レーザ光源から放射されたパルス状のレーザビームを、回折格子を通過させることにより、セラミックグリーンシートは貫通するが、キャリアフィルムは貫通しないようなエネルギーを有する複数個のレーザビームに分光し、分光された複数個のパルス状のレーザビームを、セラミックグリーンシートのキャリアフィルムにより支持されていない方の面に照射して、セラミックグリーンシートに複数個の貫通孔を形成することを特徴とするセラミックグリーンシートの加工方法。

IPC (5件)：

B28B 11/12 , B23K 26/00 330 , B23K 26/06 , B23K 26/08 , H01S 3/00

FI (6件)：

B28B 11/12 , B23K 26/00 330 , B23K 26/06 C , B23K 26/08 B , B23K 26/08 F , H01S 3/00 B

Fターム (20件)：

4E068AF00 , 4E068CA01 , 4E068CD04 , 4E068CD06 , 4E068CD08 , 4E068CE01 , 4E068CE03 , 4E068CE04 , 4E068DA11 , 4E068DB12 , 4G055AA08 , 4G055AB05 , 4G055AC01 , 4G055AC09 , 4G055BA83 , 5F072AA05 , 5F072HH07 , 5F072KK07 , 5F072KK30 , 5F072YY06

引用特許：

審査官引用 (6件)

セラミックグリーンシートの加工方法及びレーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-045838 出願人：株式会社村田製作所
特開平2-117791
特公昭62-013120

全件表示

前のページに戻る