特許

J-GLOBAL ID：200903068014513840

低温エーロゾルの製造および制御による基材の処理

発明者： パトリン,ジョン,シー. ,  ハイツィンガー,ジョン,エム.
出願人/特許権者： エフエスアイ インターナショナル インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 萼 経夫 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-503255
公開番号（公開出願番号）：特表2002-504016
出願日： 1998年06月11日
公開日（公表日）： 2002年02月05日
要約：

【要約】基材に低温エーロゾルスプレーを衝突させることにより該基材を処理するための方法であって、上記低温エーロゾルスプレーは、ノズル下流で1種以上の寒剤からなる少なくとも実質的に固体のエーロゾル粒子を形成するように、上記1種以上の寒剤の加圧された液体または液体/気体流をノズルから基材との所定の距離をおいて処理チャンバー中に約1.6×104パスカル以下の圧力で膨張させることにより形成され、膨張および/または蒸発により生じる冷却により実質的に固体の粒子を含有するエーロゾルが形成される、上記方法。

請求項（抜粋）：

基材に低温エーロゾルスプレーを衝突させることにより該基材を処理するための方法であって、上記低温エーロゾルスプレーは、ノズル下流で少なくとも1種の寒剤からなる少なくとも実質的に固体のエーロゾル粒子を形成するように、少なくとも1種の寒剤の加圧された液体または液体/気体流をノズルから処理チャンバー中に約1.6×104パスカル以下の圧力で膨張させることにより形成される、上記方法。

IPC (3件)：

B08B 5/02 ,  B08B 3/08 ,  H01L 21/304 643

FI (3件)：

B08B 5/02 Z ,  B08B 3/08 A ,  H01L 21/304 643 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 洗浄方法および洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-071777   出願人：住友重機械工業株式会社
• 特開平1-092071
  
• 特開昭55-106538