特許

J-GLOBAL ID：200903068050376418

3次元座標測定用タッチプローブ

発明者： 大岩 孝彰
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 長瀬 成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-069686
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264046
出願日： 2000年03月14日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】 可動部の質量を軽減してセンサの感度を上げ、高精度にて測定物の測定を可能にした簡素な構造の3次元座標測定用タッチプローブを提供することを目的とする。【解決手段】 一対もしくは複数組の投光用光ファイバー7と受光用光ファイバー8とからなる光ファイバー変位計の先端に球面形状の反射部材5を移動自在に配設したことを特徴とする3次元座標測定用タッチプローブで、測定用タッチプローブにおける可動部材はボール等の球面形状の反射部材5のみであるため、質量がきわめて小さく、センサーとしての感度を格段に向上させることができ、しかも、敏感になったセンサーの微動の変動分を光ファイバー変位計における光変動により精密に検出することができるので、高精度にて測定物の測定が可能となる。

請求項（抜粋）：

一対の投光用光ファイバーと受光用光ファイバーとからなる光ファイバー変位計の先端に球面形状の反射部材を移動自在に配設したことを特徴とする3次元座標測定用タッチプローブ。

IPC (2件)：

G01B 21/20 101 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B 21/20 101 P ,  G01B 11/00 A

Fターム (21件)：

2F065AA04 ,  2F065AA09 ,  2F065BB07 ,  2F065CC00 ,  2F065DD02 ,  2F065FF44 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ22 ,  2F065LL03 ,  2F065PP22 ,  2F069AA04 ,  2F069AA66 ,  2F069DD27 ,  2F069GG07 ,  2F069HH01 ,  2F069LL02 ,  2F069RR03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 三次元測定機用プローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-319897   出願人：株式会社ミツトヨ