特許
J-GLOBAL ID:200903068061368956
インクジェットヘッドおよびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
梶 良之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-084015
公開番号(公開出願番号):特開平10-278259
出願日: 1997年04月02日
公開日(公表日): 1998年10月20日
要約:
【要約】【課題】 インクジェットヘッドの製造時やインク滴の噴出時において急激な温度変化等があっても、保護膜16に損傷が生じ難いものとする。【解決手段】 インク室10のアクチュエータ基板2に形成された電極22をインクから保護するように、該電極22に保護膜16を形成したものである。保護膜16は、電極22に形成され、有機物からなる下地層17と、インクに接触するように設けられ、二酸化珪素(SiO2 )等の無機物からなる表面層18と、下地層17と表面層18との間に設けられ、無機物を下地層17よりも小さな含有率で含む中間層19とを有している。
請求項(抜粋):
インク流路のアクチュエータ基板に形成された電極をインクから保護するように、該電極に保護膜を形成したインクジェットヘッドにおいて、前記保護膜は、前記電極に形成され、有機物からなる下地層と、前記インクに接触するように設けられ、無機物からなる表面層と、前記下地層と表面層との間に設けられ、前記無機物を前記表面層よりも小さな含有率で含む中間層とを有することを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件):
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
FI (2件):
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
引用特許: